采用 Ecdm 400E 通用 ESD 模擬器的半自動 ESD 測試儀。與手動晶圓探測系統(tǒng)或晶粒操縱器一起使用，可以完成晶圓或晶粒級半自動 ESD 測試以及封裝器件測試。
通過 V-I 曲線或泄漏電流變化檢測來檢測損壞。應力水平和測量點由個人計算機通過 GP-IB 進行編程。一旦選擇了測試端子，會自動測量 ESD 耐久性。
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? 符合 MIL、EIA/JEDEC、JEITA，AEC 與 ESDA（HBM 和 MM）等各項標準
? 低成本的晶圓或晶粒測試
? 在 ESD 測試期間，可以在 PC 顯示器上監(jiān)測 V-I 曲線。
? 可以分別監(jiān)測通過多個接地回路的電流。
? ESD 波形可根據(jù)用戶規(guī)格以及上述已發(fā)布規(guī)格進行定制。
? 快速測試是可能的，因為僅需要少許編程，但不需要 DUT 板。
? 可選擇皮安計。
